不能!
同步輻射光的特性
(1)寬波段同步輻射光的波長(zhǎng)覆蓋面大,具有從遠(yuǎn)紅外、可見(jiàn)光、紫外直到 X射線范圍內(nèi)的連續(xù)光譜,并且能根據(jù)使用者的需要獲得特定波長(zhǎng)的光。
(2)高準(zhǔn)直同步輻射光的發(fā)射集中在以電子運(yùn)動(dòng)方向?yàn)橹行牡囊粋€(gè)很窄的圓錐內(nèi),張角非常小,幾乎是平行光束,堪與激光媲美。
(3)高偏振從偏轉(zhuǎn)磁鐵引出的同步輻射光在電子軌道平面上是完全的線偏振光,此外,可以從特殊設(shè)計(jì)的插入件得到任意偏振狀態(tài)的光 。
(4)高純凈與高亮度高純凈:同步輻射光是在超高真空中產(chǎn)生的,不存在任何由雜質(zhì)帶來(lái)的污染,是非常純凈的光。
(5)高亮度:同步輻射光源是高強(qiáng)度光源,有很高的輻射功率和功率密度。
另外,不單單是光的問(wèn)題,壓電陶瓷實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)機(jī)械運(yùn)動(dòng),光刻膠的敏感光波長(zhǎng)與精度,旋涂機(jī)的旋涂成效,wafer的干凈程度,烘烤,刻蝕的時(shí)間,刻蝕所需要的等離子氣體的產(chǎn)生。
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